第653章 没有米下锅？我们自己变出来！

1996年9月，汉东省，京州市。

夏末的燥热在“汉芯”产业园新建的“先进制程先导研发中心”大楼里，被净化空调系统过滤得一干二净。

空气恒温、恒湿，洁净得几乎不染尘埃，却弥漫着另一种令人窒息的沉重——那是面对技术天堑时，清醒认知带来的刺骨寒意。

保密会议室，巨大的投影屏幕将残酷的现实赤裸裸地展示在每个人面前。

左边，是英特尔奔腾II处理器的显微照片，晶体管排列紧密如同现代都市的俯瞰图，旁边标注着冰冷的“0.25微米工艺”。

中间，Ibm实验室流出的0.18微米示意图，结构更加精妙，仿佛另一个维度的造物。

右边，是“汉芯”团队压箱底的宝贝，

两台尼康NSR-2205i11d i-line光刻机，它们安静地躺在照片里，像两位饱经风霜的老兵，

其理论极限，拼尽全力也只能勉强摸到0.35微米的边，而且性能时好时坏，像患了哮喘。

“看见了吗？”

首席工艺专家冯建国，一个身材敦实、脾气跟他的专业能力一样硬朗的上海汉子，用激光笔狠狠戳着屏幕，

红点在“0.35微米”和“0.18微米”之间跳跃，声音因为激动而有些发哑，

“我们要打80纳米！80！知道需要什么吗？

248纳米的KrF光！最好是用193纳米的ArF！可我们手里只有365纳米的‘太阳光’！

这他娘的不是一个时代的玩意儿！”

他猛地切换画面，巴统和《瓦森纳安排》的管制清单像判决书一样铺满屏幕，密密麻麻的条款和商品编码，

像一道道冰冷坚固的栅栏，将“汉芯”需要的设备、部件、软件死死拦在国门之外。

“禁运！卡死！最新的想都别想，二手的也他妈别做梦！人家防咱们，比防洪水猛兽还严实！同志们，我们这是要……要做无米之炊啊！”

“无米之炊.......”

角落里，罗斯塔姆教授用他特有的、带着波斯腔调但异常清晰的汉语，

低声重复了这个词。

这位数学天才的面容，在“涅盘一号”成功后难得的轻松早已褪去，眉头微微锁着，仿佛在解一道参数完全不足的方程。

会议室里落针可闻，只有空调出风口发出单调的、仿佛叹息般的嗡鸣。

几十位国内微电子领域顶尖的专家、工程师，此刻都沉默着，脸色凝重。

屏幕上那80纳米的目标，像一座闪耀着诱人光芒却壁立千仞的绝峰，而他们，似乎连靠近山脚的路都找不到。

压抑的寂静中，所有人的目光，或明或暗，最终都聚焦在了长桌尽头那个一直没怎么说话的人身上。

祁同伟！

他没看屏幕，也没看任何人，只是垂着眼帘，

手里一支普通的黑色水笔，在摊开的笔记本上缓慢地、一下一下地划动着，

仿佛在推演某个复杂的公式，又像是在积蓄着什么。

笔尖摩擦纸张发出极细微的沙沙声，在这片死寂中，竟奇异地牵动着所有人的心跳。

终于，他停下了笔。

抬起头，目光平静地扫过在场每一张或焦虑、或茫然、或不甘的脸。

那目光里没有责备，没有煽动，只有一种沉淀到极致的清醒，和一丝……冰层下暗流涌动的锐芒。

“封锁，禁运，卡脖子……”

祁同伟开口了，声音不高，甚至有些平淡，却像冰锥破开湖面，每一个字都清晰地扎进众人耳中，

“这些，从我们决定干‘汉芯’那天起，不就已经是写在明面上的规则了吗？”

他微微后靠，双手十指交叉放在桌上，身体姿态放松，眼神却越发锐利：

“别人不会把锅和米送到我们灶台上。

他们不给，我们就自己找米，自己铸锅。

没有现成的，那我们就……”

他顿了顿，嘴角似乎向上弯起一个几乎看不见的、冷峭的弧度：

“……自己‘变’出来！”

“变？”有人下意识地低声重复。

祁同伟站起身，走到会议室侧面的白板前。

白板光洁如新，映着顶灯惨白的光。

他拿起一支红色记号笔，笔尖悬停在白板上方，然后，落下。

光源。

物镜。

对准。

材料。

四个词，被他用遒劲的力道，如同刻印般写在白板中央，鲜红刺目。

“光刻机是核心，是咽喉。

掐住我们脖子的，是这几个东西。”

他转过身，背对着那四个红字，面向众人，目光灼灼，“正面强攻，硬件不如人，我们就打一场‘非对称战争’。”

“用我们的脑子，”

他指了指自己的太阳穴，

“用我们的软件，用我们的算法，用我们能把系统拧成一股绳的本事，去填平硬件的鸿沟，

去欺骗物理的极限，去把那条看似绝路的边界，硬生生给它……撑开！”

他的语气斩钉截铁，不容置疑：

“今天起，启动‘破壁’行动。

三条线，同步压上，没有退路！”

“第一条线，代号：极限压榨！”

祁同伟的目光落回屏幕上那两台老尼康光刻机，

眼神像是赌徒看到了最后的本钱，

又像是将军审视着跟随自己多年的、伤痕累累却依然锋利的老兵。

“冯工，这两台‘老爷车’，是我们的特洛伊木马。

我要对它们，”他顿了顿，吐出四个字，“极限压榨。”

“压榨？”冯建国心头一跳。

“对。放弃所有关于设备寿命、常规工艺窗口的保守想法。

把它们往死里用，把每一丝理论潜力，哪怕是最后一点，都给我挤出来！”

祁同伟声音沉静，却带着一种近乎冷酷的决心，

“目标：用这台365纳米的i-line‘老花眼’，配上最激进的工艺和我们能想到的一切奇招，去‘模拟’出接近248纳米KrF‘青壮年’的效果！”

他走回白板，在“光源”旁边快速写下：

? 多重曝光：把一副复杂的画，拆成两三幅简单的，分次画。

能画得更细，但步骤多了，手抖一点，画歪一点，误差就叠加，成品率会暴跌。

? 计算光刻：他看向罗斯塔姆，眼中是绝对的信任，

“罗教授，这是你的主战场。

我需要你的团队，开发出前所未有的、极度复杂的算法。

在光真正照到硅片之前，就在计算机里，模拟光穿过掩模、镜头的所有弯弯绕绕、衍射变形，

然后提前把要画的图形‘预扭曲’好，等实际曝光时，变形正好抵消，得到我们想要的图形。

这需要海量的计算，和最精巧的数学模型。”

? 超分辨率辅助图形：

在主要图案旁边，偷偷画上一些肉眼看不见、但光学效应能“感觉”到的辅助小线条，

利用光的“近朱者赤”效应，让主图案成像更清晰。

这又把掩模设计的难度和计算量推高了一个数量级。

......